High Rigid Grinding

Wafery se v současnosti nevyrábějí pouze z křemíku, ale i z velmi tvrdých materiálů, jako je SiC, safír nebo GaN. Pro tyto materiály jsou k dispozici extrémně stabilní zaoblovačky ACCRETECH s vysokou tuhostí a nízkými vibracemi. Tenké wafery se zaoblují snadněji a také je lze při následném oddělováním na čipy zpracovávat snáze a rychleji než silnější wafery a opotřebení materiálu čepele je menší. Zaoblením hran waferu lze také výrazně snížit riziko vlasových prasklin a odštěpování při oddělování na čipy.

≤ 200 mm

Vysoce výkonný zaoblovač na tvrdé materiály do 200 mm, zbroušení SIC desky o 120 μm za 1 minutu.

 HRG200X

≤ 300 mm

Rychlá, vysoce výkonná zaoblovací bruska pro tvrdé materiály, např. SiC, GaN a safír do průměru 300 mm.

 HRG300
 HRG300A