UF2000

Plně automatický krokový tester (Wafer Prober) pro vysokou produkci – pro wafery o průměru 120 až 200 mm

Kontrola polohování s přesností v řádu mikrometrů

Přesné nastavení teplot

Vysoce účinné multipinové testování

Přesnost ±1,5 µm, s nejnovější optikou pro nastavení přesné pozice
Ultrastabilní platforma Z/θ pro multipinové proměřování
Přesná kontrola okolní teploty – volitelně se studenými nebo horkými stolky (Low Temperature Chuck nebo Hot Chuck)
Vysoká flexibilita – řada volitelných možností, jako je dvojitý kazetový systém
Snadná obsluha – multifunkční displej a ovládání pomocí dotykového displeje
Každou poháněnou osu lze ovládat i odděleně – pro optimální kontrolu všech komponent