ML200PLUS FH
High Performance Laser Dicing Maschine für Wafer bis 200 mm – mit Dicing Frame Handling System
Kleinster Footprint
Exzellente Ergebnisse
Geringe Betriebskosten
- Die weltweit erste Dicing Maschine, die völlig berührungslos schneidet
- Hoher Durchsatz – schneidet viermal schneller als ein Blade Dicer
- Vereinzelt auch dünne, empfindliche und leicht brechbare Siliziumwafer
- Keine Beeinträchtigung der Waferoberfläche, da Dicing von innen erfolgt
- Maximale Ausbeute – kein Schnittverlust, kein Absplittern
- Benötigt kein Wasser und verbraucht 85% weniger Strom
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