Präzise CO₂-Zugabe zur Widerstandskontrolle von Reinstwasser
Das CO₂-Zugabesystem TD2A-3S / TD1A-S ermöglicht eine stabile, wartungsarme Einstellung des spezifischen Widerstandswerts im Dicing-Prozess – kompakt, zuverlässig und integrierbar.
Das CO₂-Zugabesystem TD2A-3S / TD1A-S dient der kontrollierten Einleitung kleiner Mengen von CO₂-Gas in Reinstwasser. Über eine spezielle Hohlfasermembran wird das Gas effizient gelöst, wodurch sich der spezifische Widerstand des Wassers gezielt einstellen lässt. Dies unterstützt eine stabile Prozessführung beim Dicing und reduziert Risiken durch elektrostatische Entladungen oder Partikelanhaftungen am Werkstück.
Merkmale und Vorteile des CO₂-Zugabesystems:
- Robustes Design ohne komplexe Mechanik
hohe Zuverlässigkeit und geringe Ausfallrate - Stabile und einfache Regelung des spezifischen Widerstandswerts
durch innovative Rohrleitungsverteilung - Langlebiges CO₂-Gasmodul
reduzierte Wartungsanforderungen - Kompakte Bauform
Integration in Dicing-Maschinen möglich - Echtzeitüberwachung der Wasserqualität
über ein integriertes Widerstandsmessgerät
Technische Daten:
- Durchflussbereich:
- TD2A-3S: 10 bis 25 L/min
- TD1A-S: 1 bis 16 L/min
- Einstellbereich spezifischer Widerstand:
- TD2A-3S: 0,3 bis 1,0 MΩ·cm
- TD1A-S: 0,1 bis 1,0 MΩ·cm
- Maximaler Reinstwasserdruck: 0,5 MPa
- Betriebstemperatur des Reinstwassers: 20 bis 25 °C
- Abmessungen (B × H × T): 90 × 335 × 300 mm
- Gewicht (trocken): 8 kg
- Hinweis: Je nach gewählter Konfiguration ist auch eine externe Installation außerhalb der Dicing-Anlage möglich.
Jetzt Beratung anfordern und CO₂-Zugabesystem optimal in Ihre Dicing-Prozesse integrieren.
