Effiziente Wasseraufbereitung beim Wafer-Dicing
Der WR30X PLUS reduziert Betriebskosten und schont Ressourcen durch die Wiederverwendung von Prozesswasser dank integriertem Hochkapazitätsfiltersystem.
Der WR30X PLUS ist ein kompaktes System zur Aufbereitung und Wiederverwendung von Dicing-Prozesswasser. Die Anlage sammelt das beim Wafer-Dicing entstehende, mit Partikeln belastete Prozesswasser in einem internen Tank. Über ein integriertes Filtersystem wird das Wasser aufbereitet und anschließend an die Dicing-Anlage zurückgeführt.
Durch den Einsatz eines Hochkapazitätsfilters reduziert das System sowohl den Betriebsmittelverbrauch als auch die Belastung bestehender Abwasseraufbereitungsanlagen. Gleichzeitig sinken die laufenden Betriebskosten.
Der Filterwechsel erfolgt werkzeuglos über die Fronttür – schnell, einfach und mit minimaler Stillstandszeit.
Vorteile auf einen Blick
- Ressourcenschonung durch Wasserwiederverwendung
Aufbereitung des Dicing-Prozesswassers zur Rückführung in die Anlage - Reduzierte Betriebskosten
Geringerer Verbrauch von Betriebsmitteln dank integriertem Hochkapazitätsfiltersystem - Entlastung bestehender Abwasseranlagen :
Minimierung der Partikelbelastung durch effektive Filtration
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