Vollautomatischer Wafer Prober für bis zu 200 mm
UF190R/UF200R
Der UF190R und UF200R von Accretech ist ein vollautomatischer Wafer Prober für Wafergrößen von 100 mm bis 200 mm. Er überzeugt durch hohe Geschwindigkeit, Modularität und ein breites Anwendungsspektrum – von Standardtests bis zu spezialisierten Anforderungen wie dem MEMS-Wafer-Handling.
Dank der neuesten Software- und Elektronikgeneration bietet der UF190R/UF200R noch mehr Präzision, Effizienz und Kompatibilität mit aktuellen Testanforderungen. Für maximale Flexibilität kann das System jederzeit mit verschiedenen Optionen erweitert werden.
Highlights des UF190R/UF200R auf einen Blick:
- Wafergrößen: 100 mm, 120 mm, 150 mm, 200 mm
- Probing-Geschwindigkeit:
- XY-Achse: bis zu 300 mm/s
- Z-Achse: bis zu 30 mm/s
- Rotation: ±5°
- Robustes Handling:
- Backside Holding für empfindliche Strukturen
- Roboterarm für präzise und schonende Wafermanipulation
- Nachrüstbar & zukunftssicher:
- Optional mit zweiter Ladekassette
- Software- und Elektronik-Plattform auf dem neuesten Stand
- Geeignet für Sonderformate und MEMS-Wafer
- Hohe Planungssicherheit:
- Stabilität im Dauerbetrieb und einfache Integration in bestehende Testprozesse
Anwendungsbereiche der Wafer Prober UF190R/UF200R
- Entwicklung & Qualitätssicherung
- Serienproduktion von Bauelementen auf 200 mm-Wafern
- MEMS- und Spezialwafer-Tests
- Universitäre Forschung & Labore mit automatisiertem Prüfbedarf
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