UF200R

Vollautomatische Wafer Prober für 120 bis 200 mm Wafer

Hoher Durchsatz

Breites Anwendungsspektrum

Hohe Planungssicherheit

Zahlreiche Optionen zum Nachrüsten
ACCRTECH Europe GmbH - Produkte - Semiconductor - %%title%%
  • Jetzt mit neuester SW- und Elektronik-Generation
  • Verfügbar auch für eine Vielzahl von Sonderanwendungen wie das MEMS-Wafer-Handling
  • Höchstgeschwindigkeit in der XY-Achse 300 mm/s, in der Z-Achse 30 mm/s, Rotationswinkel der Spindel +-5 deg
  • Optional mit zweiter Ladekassette
  • Wafer Handling mit Roboterarm und Backside Holding
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