UF200R

Vollautomatische Wafer Prober für 120 bis 200 mm Wafer

Hoher Durchsatz

Breites Anwendungsspektrum

Hohe Planungssicherheit

Zahlreiche Optionen zum Nachrüsten

ACCRTECH Europe GmbH - Produkte - Semiconductor - %%title%%

Jetzt mit neuester SW- und Elektronik-Generation
Verfügbar auch für eine Vielzahl von Sonderanwendungen wie das MEMS-Wafer-Handling
Höchstgeschwindigkeit in der XY-Achse 300 mm/s, in der Z-Achse 30 mm/s, Rotationswinkel der Spindel +-5 deg
Optional mit zweiter Ladekassette
Wafer Handling mit Roboterarm und Backside Holding