Vollautomatischer 200 mm Frame Handling Prober
FP2000
Der FP2000 ist ein vollautomatischer 200 mm Frame Handling Prober mit integrierter Frame-Gripper-Funktion. Das System bietet eine Vielzahl von Einsatzmöglichkeiten, darunter das Testen ganzer Wafer sowie Wafer auf Dicing-Frames.
Dank seines modularen Aufbaus ist der FP2000 Wafer Prober jederzeit erweiterbar und passt sich flexibel an unterschiedliche Anforderungen in der Halbleiterprüfung an.
Funktionen und Merkmale
- Vollautomatischer Betrieb
- Unterstützt Wafer auf Dicing Frame: 2-8-1, 2-6-1
- Kompatibel mit normalen Wafern in Größen: 5″, 6″ und 8″
- Neu entwickelte Software zur Chippositionskorrektur
- Automatische Waferausrichtung
- Automatische Probe-Needle-Justierung zur Kontaktstellenpositionierung
Optionale Erweiterungen:
- Multiple Die Probing
- Nadelreinigung
- GP-IB Interface
- Probe-Mark-Inspektion
- Drucker
- Barcode-Reader
- Wafer-ID-Reader
- Farbkamera
- Flat Loader
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