ChaMP 211/232

Wysokowydajna technologia CMP do płytek do 200 mm

Maksymalne bezpieczeństwo procesu

Optymalne współdziałanie wszystkich komponentów

Znakomite rezultaty

Możliwość konfiguracji do dużych wydajności
Accretech GmbH - Produkte - CMP - CHAMP
  • Modularna, elastyczna i kompaktowa konstrukcja
  • Cięcie dry in dry z opcją czyszczenia
  • Głowica polerująca z technologią air float
  • Łatwe serwisowanie
  • End point detection (EPD) do bardzo precyzyjnego i równomiernego polerowania
  • Obróbka Cu/STI/ILD/SOI itp.
  • W przypadku ChaMP 232 dodatkowo z 3 stołami polerowania i 2 głowicami polerowania – idealne do produkcji masowej

Ver­wand­te Pro­duk­te

Wir sind für Sie da.

+49 (0)89 546788-0


Kontaktformular

mit * gekennzeichnete Felder sind zwingend anzugeben

Wie erreichen wir Sie am besten?