AP3000/AP3000e

Leistungsstarker Wafer Prober der nächsten Generation

Extrem hohe Genauigkeit

Geringe Vibration und geräuscharm

Hoher Durchsatz (Indexbewegung, Wafer-Handling, Wafer-Ausrichtung)

Einfache Handhabung

Hohe Sicherheit: Anti-Virus/Anti-Malware-Software ist standardmäßig installiert

Optionen

  • Nadelreinigung (Reiningung Wafer oder Reinigungseinheit)
  • Fan filter unit (mini-environment)
  • HF jig/manipulator, Tester interface
  • Loader : 2 Loader / Automation with AMHS
  • Chuck: Ambient / Hot temp. / Low temp. /Low noise
  • APC : Auto probe card exchange
  • Cassette ID reading
  • Wafer ID reading (Top surface / Back surface)
  • GB-IB Interface
  • Prober Network (Veganet, Light-Veganet, Vega-Planet, GEM)
  • PCAS (Probe card auto setup