Vollautomatischer Wafer-Prober für höchste Präzision und Durchsatz
UF2000
Der UF2000 ist der vollautomatische Wafer-Prober für 120 bis 200 mm Wafer, der mit höchster Präzision und flexiblen Optionen überzeugt. Mit der mikrometergenauen Platzierungskontrolle und der exakten Temperaturbestimmung ermöglicht der UF2000 hocheffizientes Multi-Pin-Probing bei konstant hoher Qualität.
Dank der +-1,5 µm-Präzision und der modernsten Optik zur Bestimmung der Platzierungsgenauigkeit sorgt der UF2000 für zuverlässige Messergebnisse bei jeder Anwendung. Die ultrastabile Z/θ-Plattform bietet die ideale Basis für Multi-Pin-Probing-Kontaktierungen. Die Umgebungstemperatur lässt sich exakt kontrollieren – optional mit Low- oder Hot-Temperature-Chuck.
Besonderen Komfort bieten die einfache Bedienung über ein multifunktionales Touch-Display und die Möglichkeit, jede Antriebsachse separat zu steuern. Zudem lässt sich der UF2000 durch zahlreiche Optionen, wie beispielsweise einen Zweifachlader, individuell erweitern.
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