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Wafer Edge Grinder

Nach dem Sägen des Wafers aus dem Ingot werden die scharfen Kanten durch präzises Edge Grinding mit einem Diamantfräser abgerundet. Dieser Prozess bereitet den Wafer optimal auf alle nachfolgenden Schritte vor, indem er das Risiko von Schichtablösungen minimiert und eine glatte, gleichmäßige Kantenkontur sicherstellt.
Rund geschliffene Kanten sorgen zudem für eine kontrollierte Verteilung des Photolacks, wodurch die Wulstbildung beim Aufschleudern auf ein Minimum reduziert wird.

Unsere Edge Grinder Modelle

Edge Grinder – Für ≤ 200 mm Wafer

Edge Grinder – Für ≤ 300 mm Wafer

Edge Grinder – Für ≤ 450 mm Wafer

W-GM-4200: Perfekte Abrundung für stabile Waferkanten und verbessertes Handling
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W-GM-5200: Leistungsstarke, zuverlässige Kantenschleifmaschine für größere Wafer
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W-GM-6200: Zuverlässig und einfach bedienbar, ideal für größere Wafer mit anspruchsvollem Kantendesign
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Unsere Edge Grinder gewährleisten höchste Präzision und Prozesssicherheit – entscheidend für reibungslose Fertigungsabläufe bei CMP, Wafer Probing, Polish Grinding, High Rigid Grinding und Wafer Dicing.