UF2000
Testeur sous pointes entièrement automatisé à grand débit – pour wafers de 120 à 200 mm
Contrôle de placement avec une précision micrométrique
Détermination exacte de la température
Multi-Pin Probing très efficace
Détermination exacte de la température
Multi-Pin Probing très efficace
- Précision +-1,5 µm, avec optique ultramoderne pour la détermination de la précision de placement
- Plateforme Z/θ extrêmement stable pour contact Multi-Pin Probing
- Contrôle précis de la température ambiante – en option, avec Low Temperature Chuck ou Hot Chuck
- Grande flexibilité – nombreuses options telles que chargeur double
- Utilisation simple – écran tactile multifonction
- Chaque axe d’entraînement peut être contrôlé séparément – pour un contrôle optimal de chaque composant
