UF200R

Plně automatický krokový tester (Wafer Prober) – pro wafery o průměru 120 až 200 mm

Vysoká kapacita

Široké spektrum použití

Vysoká jistota plánování

Množství volitelné výbavy k doplnění

Nyní v nejnovější generaci softwaru a elektronických komponent
K dispozici také pro celou řadu speciálních použití, jako je manipulace s wafery MEMS
Maximální rychlost v ose X a Y 300 mm/s, v ose Z 30 mm/s, rotační úhel stolku ±5 stupňů
Volitelně s druhým kazetovým zásobníkem
Systém nakládání s pomocí robotického ramene a držením disku na spodní straně