Vollautomatische UV-Laserdicing-Maschine
AL3000 – für 300-mm-Halbleiterwafer
Die AL3000 ist eine hochmoderne, vollautomatische UV-Laserdicing-Maschine zur präzisen Bearbeitung von 300-mm-Halbleiterwafern. Entwickelt für den Einsatz in der Halbleiterfertigung, kombiniert sie eine innovative Laser-Engine mit einer extrem stabilen Maschinenplattform, um hohe Schnittqualität und maximale Produktivität zu gewährleisten – selbst bei empfindlichen Materialien wie Low-K-Dielektrika oder Metallschichten.
Die Vorteile des Laser Dicers auf einen Blick
- Vollautomatisierter Workflow
Integrierte Prozesse von der Applikation wasserlöslicher Schutzfolien über das Laserdicing bis hin zur Reinigung – ohne manuelle Eingriffe. - Optimiert für Low-K-Materialien & Metalle
Die UV-Lasertechnologie ermöglicht materialschonende Bearbeitung bei minimaler thermischer Belastung und hoher Präzision. - Hoher Durchsatz ohne Qualitätsverlust
Die einzigartige Kombination aus Lasersteuerung und stabiler Mechanik eliminiert den üblichen Zielkonflikt zwischen Qualität und Geschwindigkeit. - Intuitive Bedienung
17-Zoll-Touchpanel mit benutzerfreundlicher GUI – bekannt aus der AD/SS-Serie – für einfache und effiziente Steuerung. - Geeignet für Φ300-mm-Wafer
Flexibel einsetzbar in modernen Fertigungsumgebungen.
Typische Anwendungen
- Lasergrooving für Dicing-before-Grinding-Prozesse
- Vorbereitung empfindlicher Strukturen für Plasma-Dicing
- Strukturschonende Bearbeitung in Advanced Packaging
Technische Spezifikationen AL3000
- Bearbeitungsmethode: Ablation (UV-Laser)
- Laserquelle: Festkörperlaser, UV (355 nm), Q-Switch
- Max. Wafergröße: Φ305 mm
- Schneidbereich (X × Y): 310 mm × 310 mm
- Max. Geschwindigkeit (X-Achse): 1.000 mm/s
- Max. Geschwindigkeit (Y-Achse): 300 mm/s
- Positioniergenauigkeit: ±0,078 µm
- Wiederholgenauigkeit: ±1,0 µm
- Max. Rotationswinkel (θ-Achse): 380°
- Versorgungsspannung: 3-Phasen 200–220 V (380/415 V optional)
- Leistungsaufnahme: ca. 2,0 kVA
- Luftversorgung: 0,5–0,7 MPa, Ø 400 L/min
- Stickstoffversorgung: 0,3–0,5 MPa, Ø 30 L/min
- DI-Wasserverbrauch (max.): 6,0 L/min bei 0,3–0,5 MPa
- Abgasvolumen: ≥ 4,0 m³/min
- Maschinenmaße (B × T × H): 1.645 mm × 1.680 mm × 1.800 mm
- Gewicht: ca. 2.500 kg
- Ein Chiller sowie ein Staubabscheider sind als Zusatzausrüstung enthalten
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