UF190R

Vollautomatische Wafer Prober für 100 oder 120 bis 200 mm Wafer

Hohe Probing-Geschwindigkeit

Breites Anwendungsspektrum

Hohe Planungssicherheit

Zahlreiche Optionen zum Nachrüsten

Hier sehen Sie einen UF190R in der Frontansicht.

Jetzt mit neuester SW- und Elektronik-Generation
Verfügbar auch für eine Vielzahl von Sonderanwendungen wie das MEMS-Wafer-Handling
Höchstgeschwindigkeit in der XY-Achse 300 mm/s, in der Z-Achse 30 mm/s, Rotationswinkel +-5 deg
Optional mit zweiter Ladekassette
Wafer Handling mit Roboterarm und Backside Holding

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