Vollautomatischer Wafer Prober für bis zu 200 mm

UF190R/UF200R

Der UF190R und UF200R von Accretech ist ein vollautomatischer Wafer Prober für Wafergrößen von 100 mm bis 200 mm. Er überzeugt durch hohe Geschwindigkeit, Modularität und ein breites Anwendungsspektrum – von Standardtests bis zu spezialisierten Anforderungen wie dem MEMS-Wafer-Handling.

Dank der neuesten Software- und Elektronikgeneration bietet der UF190R/UF200R noch mehr Präzision, Effizienz und Kompatibilität mit aktuellen Testanforderungen. Für maximale Flexibilität kann das System jederzeit mit verschiedenen Optionen erweitert werden.

Highlights des UF190R/UF200R auf einen Blick:

  • Wafergrößen: 100 mm, 120 mm, 150 mm, 200 mm
  • Probing-Geschwindigkeit:
    • XY-Achse: bis zu 300 mm/s
    • Z-Achse: bis zu 30 mm/s
    • Rotation: ±5°
  • Robustes Handling:
    • Backside Holding für empfindliche Strukturen
    • Roboterarm für präzise und schonende Wafermanipulation
  • Nachrüstbar & zukunftssicher:
    • Optional mit zweiter Ladekassette
    • Software- und Elektronik-Plattform auf dem neuesten Stand
    • Geeignet für Sonderformate und MEMS-Wafer
  • Hohe Planungssicherheit:
    • Stabilität im Dauerbetrieb und einfache Integration in bestehende Testprozesse

Anwendungsbereiche der Wafer Prober UF190R/UF200R

  • Entwicklung & Qualitätssicherung
  • Serienproduktion von Bauelementen auf 200 mm-Wafern
  • MEMS- und Spezialwafer-Tests
  • Universitäre Forschung & Labore mit automatisiertem Prüfbedarf

Sie möchten den UF190R/UF200R in Ihre Testumgebung integrieren oder haben spezielle Anforderungen? Unsere Expertinnen und Experten unterstützen Sie bei der Auswahl und Konfiguration.

Hier sehen Sie einen UF190R in der Frontansicht.

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