Surface metrology part 1: Fundamentals and filter methods

Auflösung

Maximaler Messbereich

Genauigkeit

±(1,5|2H|/100) μm ->
0,0001 μm ±(0,8+|2H|/100) μm

(0.08 μm / ±160 μm ->
0,0001 μm / ±3,2 μm

Handysurf+ 35/40/45

Handysurf+ 35/40/45

Auflösung
0,0007 µm
Z-Achse
-210 bis +160 µm

Surfcom Touch 550

Surfcom Touch 550

Auflösung von bis zu 0,0001 µm und maximaler Z-Messbereich von 1000 µm

Surfcom Nex 001

Surfcom Nex 001

Auflösung
0,10 nm / ± 3,2 µm
-> 0,20 nm / ± 500 µm

Surfcom Nex 100

Surfcom Nex 100

Auflösung
Rauheit 1,0 nm
Kontur 0,015µm / 5 mm

Opt-Scope

Opt-Scope

Optischer Sensor
Auflösung
0,10 nm / 20 mm

Surfcom Nex 030

Surfcom Nex 030

Auflösung
0,04 µm / 60mm
Genauigkeit (Z)
±(1,5+|2H|/100)µm

Surfcom Nex 040

Surfcom Nex 040

Auflösung
0,02 µm / 60mm
Genauigkeit (Z)
±(0,8+|2H|/100)µm

Surfcom Crest

Surfcom Crest

Auflösung
Rauheit und Kontur
0,31 nm / 13 mm

0,32 mm

0,8 mm

1 mm

10 mm

20 mm

60 mm

26 mm

Surfcom Touch 35/40/45

Auflösung
0,01 µm / ± 20 µm
-> 0,08 µm / ± 160 µm

Surfcom Touch 35/40/45

Surfcom Touch 50

Surfcom Touch 50

Auflösung
von bis zu 0,0001 µm und maximalem Z-Messbereich von 1000µm (2000µm/doppelte Tastarmlänge)

Surfcom C5

Surfcom C5